產(chǎn)品描述：

1、高速運(yùn)動、直接驅(qū)動

2、設(shè)計(jì)小巧緊湊

3、閉環(huán)控制

4、可堆疊進(jìn)行XY 運(yùn)動

X 軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括 12/30/45/60μm 及可定制其他行程版本。

HE-NM45 系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動元件，利用有限元優(yōu)化的固態(tài)撓性導(dǎo)向系統(tǒng)可確保好的平移運(yùn)動。平臺采用了無摩擦柔性機(jī)構(gòu)，壓電位移臺無需維護(hù)，無磨損，并具有快速響應(yīng)和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補(bǔ)償，跟蹤，快速步進(jìn)或連續(xù)掃描等。閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運(yùn)動，還可以補(bǔ)償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計(jì)。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運(yùn)行。

壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實(shí)現(xiàn)的。若要安裝到具有標(biāo)準(zhǔn)柵格的光學(xué)平臺或其他組件上，請使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中，應(yīng)避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側(cè)向力，這些外力可能會損壞位移臺。

選配功能：可定制轉(zhuǎn)接工裝、可選PZT&Sensor 連接器及線纜長度、可選配閉環(huán)(SGS)  位置反饋系、可組維、可定制其他行程。

應(yīng)用領(lǐng)域： 掃描顯微鏡、光纖端面檢測、干涉儀、測量技術(shù)、3D 錫膏檢測、光子、光纖定位、干涉、納米光刻、納米定位、電化學(xué)加。

產(chǎn)品參數(shù)：

注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-"表示為不適用。

1.尾綴“-S"為閉環(huán)，內(nèi)置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶"-S，無線性誤差、重復(fù)度數(shù)據(jù)。

2.最大驅(qū)動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0..+120V，更大行程請咨詢。出廠為標(biāo)稱行程。

3.分辨率即定位噪聲。因?yàn)閴弘娞沾杉{米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術(shù)的限制。通常使用RMS（1σ）值進(jìn)行測量和指定。閉環(huán)分辨率為傳感器噪聲，驅(qū)動器電子噪聲和命令噪聲等的組合。

4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應(yīng)的位移步長值。

5.軸向載荷，更高的負(fù)載請咨詢，注意超出標(biāo)稱負(fù)荷會對柔性機(jī)構(gòu)造成損壞。

6.更長的線纜長度請咨詢。

7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標(biāo)準(zhǔn)典型數(shù)據(jù)值，檢測報(bào)告中會給出實(shí)際的測量數(shù)據(jù)值。

產(chǎn)品尺寸：