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壓電陶瓷納米臺(tái) XYZ平移臺(tái)HE-NMXYZ100

產(chǎn)品型號(hào)：

產(chǎn)品資料下載：

13911985317

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產(chǎn)品參數(shù):

型號(hào)	HE-NMXYZ100
運(yùn)動(dòng)軸	X. Y. Z
集成傳感器	SGS
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)	100 μmx100 μm x 500 μm
zui大行程范圍(@-20~+150V)	110μm x 110 μm x 540 μm
分辨率	(XY) 3 nm、(Z) 14nm
最小移動(dòng)步長(zhǎng)	(XY) 3.5 nm、(Z) 17 nm
線性誤cha	0.05%
重復(fù)定位精度（全行程）	0.05%
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))	20 μrad
承載能力	5N
諧振頻率	(XYZ) 300 Hz、260 Hz、250 Hz
運(yùn)動(dòng)方向剛度	0.5 N/μm
運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力	20N/3N
驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)	PZT
工作溫度范圍	-20~+80°℃
線纜長(zhǎng)度	1.5m
中空尺寸	——
外形尺寸（長(zhǎng)x寬×高）	90x 90x30mm
重量	390 g
PZT&Sensor連接器	LEMO
材質(zhì)	鋁鋼

產(chǎn)品尺寸：

壓電陶瓷納米臺(tái) XYZ平移臺(tái)HE-NMXYZ100

高精科技有限責(zé)任公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、自動(dòng)化控制等技術(shù)于一體的高科技自主研發(fā)企業(yè)，一直服務(wù)于科研大專院校，根據(jù)不同客戶需求，研發(fā)配套軟硬件系統(tǒng)產(chǎn)品，涵蓋光學(xué)元器件、精密機(jī)械部件、自動(dòng)控制、等大類通過(guò)長(zhǎng)期的不懈努力、對(duì)光路搭建系統(tǒng)的工藝把控和對(duì)客戶的優(yōu)良服務(wù)，在科研、大專院校、機(jī)械自動(dòng)化等諸多領(lǐng)域成長(zhǎng)為廠商。公司的長(zhǎng)焦鏡頭，自動(dòng)化機(jī)械控制臺(tái)、手動(dòng)控制臺(tái)、高亮度光源等產(chǎn)品，產(chǎn)品注重模塊化,集成化，已形成量產(chǎn)，規(guī)格全、提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的服務(wù)、同時(shí)提供定制服務(wù)。

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