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產(chǎn)品中心高精度電動(dòng)平移臺(tái)系列壓電陶瓷納米臺(tái)壓電陶瓷納米臺(tái) XYZ平移臺(tái)HE-NMXYZ100
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壓電陶瓷納米臺(tái) XYZ平移臺(tái)HE-NMXYZ100
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產(chǎn)品參數(shù):
| 型號(hào) | HE-NMXYZ100 |
| 運(yùn)動(dòng)軸 | X. Y. Z |
| 集成傳感器 | SGS |
| 標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V) | 100 μmx100 μm x 500 μm |
| zui大行程范圍(@-20~+150V) | 110μm x 110 μm x 540 μm |
| 分辨率 | (XY) 3 nm、(Z) 14nm |
| 最小移動(dòng)步長(zhǎng) | (XY) 3.5 nm、(Z) 17 nm |
| 線性誤cha | 0.05% |
| 重復(fù)定位精度（全行程） | 0.05% |
| 角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn)) | 20 μrad |
| 承載能力 | 5N |
| 諧振頻率 | (XYZ) 300 Hz、260 Hz、250 Hz |
| 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.5 N/μm |
| 運(yùn)動(dòng)方向推力/拉力 | 20N/3N |
| 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | PZT |
| 工作溫度范圍 | -20~+80°℃ |
| 線纜長(zhǎng)度 | 1.5m |
| 中空尺寸 | —— |
| 外形尺寸（長(zhǎng)x寬×高） | 90x 90x30mm |
| 重量 | 390 g |
| PZT&Sensor連接器 | LEMO |
| 材質(zhì) | 鋁 鋼 |
產(chǎn)品尺寸：
高精科技有限責(zé)任公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、自動(dòng)化控制等技術(shù)于一體的高科技自主研發(fā)企業(yè)，一直服務(wù)于科研大專院校，根據(jù)不同客戶需求，研發(fā)配套軟硬件系統(tǒng)產(chǎn)品，涵蓋光學(xué)元器件、精密機(jī)械部件、自動(dòng)控制、等大類通過(guò)長(zhǎng)期的不懈努力、對(duì)光路搭建系統(tǒng)的工藝把控和對(duì)客戶的優(yōu)良服務(wù)，在科研、大專院校、機(jī)械自動(dòng)化等諸多領(lǐng)域成長(zhǎng)為廠商。公司的長(zhǎng)焦鏡頭，自動(dòng)化機(jī)械控制臺(tái)、手動(dòng)控制臺(tái)、高亮度光源等產(chǎn)品，產(chǎn)品注重模塊化,集成化，已形成量產(chǎn)，規(guī)格全、提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的服務(wù)、同時(shí)提供定制服務(wù)。
目前主要產(chǎn)品：中空顯微掃描平臺(tái) 中空轉(zhuǎn)臺(tái) 直線電機(jī)平臺(tái) 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái) 電動(dòng)六維臺(tái) 六維調(diào)節(jié)平臺(tái) 六軸干涉儀調(diào)整架 六軸鏡架 手動(dòng)升降臺(tái) 角度調(diào)節(jié)臺(tái) 方位調(diào)節(jié)臺(tái) 電動(dòng)升降臺(tái) 三軸調(diào)節(jié)臺(tái) XYZ調(diào)節(jié)臺(tái) 光學(xué)平臺(tái) 光學(xué)平板 拉伸平臺(tái) 傾斜臺(tái) 高真空電動(dòng)平臺(tái) 真空平臺(tái) 光學(xué)平臺(tái) 面包板 電動(dòng)角位臺(tái) 手動(dòng)角位臺(tái) 長(zhǎng)工作距物鏡 大數(shù)值孔徑物鏡。
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