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產(chǎn)品中心高精度電動(dòng)平移臺(tái)系列壓電陶瓷納米臺(tái)三維小體積壓電納米定位臺(tái)HE-NMXYZ30
產(chǎn)品分類
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
三維小體積壓電納米定位臺(tái)HE-NMXYZ30
產(chǎn)品參數(shù):
| 按要求定制 | ||
| 型號(hào) | HE-NMXYZ30 | |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y、Z | |
| 驅(qū)動(dòng)控制 | 1路驅(qū)動(dòng)，1路傳感 | |
| X,Y方向行程 | 大于40μm | |
| Z軸行程 | 40μm | |
| X軸精度 | 高于500nm | |
| Y,Z方向精度 | 高于1000nm | |
| 標(biāo)稱行程范圍(0~120V） | 80μm±10% | |
| Max.行程范圍(0~150V) | 100μm±10% | |
| 傳感器類型 | SGS/－ | |
| 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 3/0.1nm | |
| 閉環(huán)線性度 | 0.05/－%F.S. | |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.02/-%F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10μrad | |
| 推/拉力 | 30/10N | |
| 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.3N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 0.3kHz±20% | |
| 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/0.8ms±20% | |
| 閉環(huán)工作頻率（-3dB） | 70（負(fù)載100g）Hz±20% | |
| 承載能力 | 水平安裝 | 0.8kg |
| 立式安裝 | 0.05kg | |
| 倒置安裝 | 0.8kg | |
| 靜電容量 | 1.8μF±20% | |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 | |
| 重量 | 100g±5% | |
產(chǎn)品尺寸:
高精科技有限責(zé)任公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、自動(dòng)化控制等技術(shù)于一體的高科技自主研發(fā)企業(yè)，一直服務(wù)于科研大專院校，根據(jù)不同客戶需求，研發(fā)配套軟硬件系統(tǒng)產(chǎn)品，涵蓋光學(xué)元器件、精密機(jī)械部件、自動(dòng)控制、等大類通過(guò)長(zhǎng)期的不懈努力、對(duì)光路搭建系統(tǒng)的工藝把控和對(duì)客戶的優(yōu)良服務(wù)，在科研、大專院校、機(jī)械自動(dòng)化等諸多領(lǐng)域成長(zhǎng)為廠商。公司的長(zhǎng)焦鏡頭，自動(dòng)化機(jī)械控制臺(tái)、手動(dòng)控制臺(tái)、高亮度光源等產(chǎn)品，產(chǎn)品注重模塊化,集成化，已形成量產(chǎn)，規(guī)格全、提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的服務(wù)、同時(shí)提供定制服務(wù)。
目前主要產(chǎn)品：中空顯微掃描平臺(tái) 中空轉(zhuǎn)臺(tái) 直線電機(jī)平臺(tái) 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái) 電動(dòng)六維臺(tái) 六維調(diào)節(jié)平臺(tái) 六軸干涉儀調(diào)整架 六軸鏡架 手動(dòng)升降臺(tái) 角度調(diào)節(jié)臺(tái) 方位調(diào)節(jié)臺(tái) 電動(dòng)升降臺(tái) 三軸調(diào)節(jié)臺(tái) XYZ調(diào)節(jié)臺(tái) 光學(xué)平臺(tái) 光學(xué)平板 拉伸平臺(tái) 傾斜臺(tái) 高真空電動(dòng)平臺(tái) 真空平臺(tái) 光學(xué)平臺(tái) 面包板 電動(dòng)角位臺(tái) 手動(dòng)角位臺(tái) 長(zhǎng)工作距物鏡 大數(shù)值孔徑物鏡
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